CN120118625A 浅槽隔离化学机械抛光浆料的制备工艺 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120118625A

(43)申请公布日2025.06.10

(21)申请号202510260161.2

(22)申请日2025.03.06

(71)申请人珠海市方寸新材料有限公司

地址519000广东省珠海市金湾区三灶镇

机场西路628号国际健康港6座

(72)发明人黄素琴陈雅园杜鑫

(74)专利代理机构北京谦佑知识产权代理有限

公司32589

专利代理师马兰

(51)Int.Cl.

C09G1/02(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

浅槽隔离化学机械抛光浆料的制备