CN120133886A 一种铝及铝合金靶材的加工方法 .pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120133886A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510272432.6

(22)申请日2025.03.07

(71)申请人浙江最成半导体科技有限公司

地址312000浙江省绍兴市越城区皋埠街

道香积路78号

(72)发明人大岩一彦姚科科凡春宝

(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限

责任公司11240

专利代理师贾旭卢淑艳

(51)Int.Cl.

B23P15/00(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图3页

(54)发明名称

一种铝及铝合金靶材的加工方