CN119517801A 基板处理方法及基板处理装置 （株式会社斯库林集团）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119517801A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202411626931.2

(22)申请日2019.09.29

(30)优先权数据

2018-1899812018.10.05JP

(62)分案原申请数据

201910936715.02019.09.29

(71)申请人株式会社斯库林集团

地址日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1(邮递区号:602-8585)

(72)发明人犹原英司冲田有史角间央章増井达哉

(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理

有限公司11205

专利代理师马雯雯臧建明

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

H01L21/027(2006.01)

权利要求书3页说明书21页附图11页

(54)发明名称

基板处理方法及基板处理装置

(57)摘要

CN119517801A本发明提供一种可对喷出至基板的端部的液柱状的处理液进行拍摄的基板处理方法及基板处理装置。基板处理方法包括：保持工序、旋转工序、上升工序、斜面处理工序、摄像工序以及监视工序。在上升工序中，使包围基板保