CN119522474A 等离子体处理装置和等离子体处理方法 (东京毅力科创株式会社).docxVIP

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  • 2026-05-10 发布于山西
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CN119522474A 等离子体处理装置和等离子体处理方法 (东京毅力科创株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119522474A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202380052289.9

(22)申请日2023.07.06

(30)优先权数据

2022-1137472022.07.15JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.07

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0251542023.07.06

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/014398JA2024.01.18

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人王

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