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CN119522484A 基板制造方法及基板制造装置 （株式会社荏原制作所）.docxVIP

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  • 2026-05-10 发布于山西
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CN119522484A 基板制造方法及基板制造装置 （株式会社荏原制作所）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119522484A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202380052720.X

    (22)申请日2023.06.15

    (30)优先权数据

    2022-1122082022.07.13JP

    (85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.08

    (86)PCT国际申请的申请数据

    PCT/JP2023/0222212023.06.15

    (87)PCT国际申请的公布数据

    WO2024/014221JA2024.01.18

    (71)申请人株式会社荏原制作所

    地址日本国东京都大田区羽田旭

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