CN119522385A 用于表征衍射光学元件的方法以及实施该表征方法来制造衍射光学元件的方法 （卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119522385A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202380052861.1

(22)申请日2023.07.11

(30)优先权数据

102022207138.72022.07.13DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.09

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0691702023.07.11

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/013160DE2024.01.18

(71)申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司地址德国上科亨