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CN119537121A 一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备 （苏州联讯仪器股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-05-10 发布于山西
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CN119537121A 一种生成晶圆图的方法、装置及测试晶圆的设备 （苏州联讯仪器股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119537121A

    (43)申请公布日2025.02.28

    (21)申请号202510096617.6

    (22)申请日2025.01.22

    (71)申请人苏州联讯仪器股份有限公司

    地址215011江苏省苏州市高新区湘江路

    1508号5幢

    (72)发明人林冠屹

    (74)专利代理机构北京中知法苑知识产权代理

    有限公司11226

    专利代理师唐妍

    (51)Int.Cl.

    G06F11/22(2006.01)

    G01B11/00(2006.01)

    H01L21/66(2006.01)

    权利要求

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