CN119517839A 晶圆转移装置及晶圆转移方法 （北京子牛亦东科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119517839A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202510099029.8

(22)申请日2025.01.22

(71)申请人北京子牛亦东科技有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区科谷一街10号院6号楼3层305-

11（北京自贸试验区高端产业片区亦

庄组团）

(72)发明人游威陈涛靖春雷张孟南

(74)专利代理机构北京辰权知识产权代理有限

公司11619

专利代理师张鹏

(51)Int.Cl.

H01L21/687(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图7页

(54)发明名称

晶圆转移装置及晶圆转移方法

(57)摘要

CN119517839A本申请公开了一种晶圆转移装置及晶圆转移方法，该晶圆转移装置包括夹持组件，夹持组件包括多个夹持机构，夹持机构包括伸缩臂和夹持部，夹持部连接于伸缩臂的端部，多个夹持机构的夹持部沿圆周方向围合形成夹持空间，夹持部包括开口朝向夹持空间的凹槽结构，凹槽结构包括沿圆周方向贯穿的通道，夹持组件包括用于夹持晶圆的收紧工位和用于拾放晶圆的张开工位；其中，当夹持组件处于收紧工位时，凹槽结构的底壁外切于第一虚拟图形，第一虚拟图形的外径