CN119533589A 流量传感器及其制作方法、气体质量流量控制器 （青岛芯笙微纳电子科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119533589A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202311092421.7

(22)申请日2023.08.28

(71)申请人青岛芯笙微纳电子科技有限公司

地址266100山东省青岛市崂山区科苑纬

一路1号青岛国际创新园B座12-201

(72)发明人田伟胡国庆

(74)专利代理机构青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)37247

专利代理师刘娜

(51)Int.Cl.

G01F1/684(2006.01)

G01F1/86(2006.01)

H01C7/00(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

流量传感器及其制作方法、气体质量流量控

制器

(57)摘要

CN119533589A本发明公开了一种流量传感器及其制作方法、气体质量流量控制器，流量传感器包括毛细管和位于其外表面的微米级的薄膜电阻；毛细管包括毛细管水平段和毛细管垂直段；薄膜电阻包括上游薄膜电阻和下游薄膜电阻，上游薄膜电阻和下游薄膜电阻镜像对称地缠绕在毛细管水平段上，所述薄膜电阻的缠绕方式采用环形单线式、环形双线式或水平单线式中的任意一种。本发明的薄膜电阻具有微米级的线宽，使相同毛细管上制作的电阻更加密集，且具有更薄的厚度和更有效的面积接触