CN120280371A 晶圆键合调度方法、系统及设备 (北京华卓精科科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-12 发布于重庆
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CN120280371A 晶圆键合调度方法、系统及设备 (北京华卓精科科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120280371A

(43)申请公布日2025.07.08

(21)申请号202510298717.7H01L21/50(2006.01)

G05B19/418(2006.01)

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人北京华卓精科科技股份有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区科创十街19号院2号楼2层(北

京自贸试验区高端产业片区亦庄组

团)

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名

请求不公布姓名请求不公布姓名

(74)专利代理机构北京荟英捷

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