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自动化测试系统在集成电路质量控制中的效能提升

目录

内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1背景介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2自动化测试系统的定义与作用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3集成电路质量控制的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4本文研究的意义与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

自动化测试系统的关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1自动化测试系统架构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.2测试系统的核心技术实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.3传感器技术在测试中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

2.4数据分析与决策支持．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

自动化测试系统在集成电路质量控制中的应用．．．．．．．．．．．．．．．21

3.1测试系统的集成电路检测流程．．．．．．．．．．．．．