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表面分析技术原理及工程应用研究

目录

文档概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

常用表面分析技术的原理与装置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.1等离子体原子发射光谱分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

2.2原子吸收光谱分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.3X射线光电子能谱分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.4二次离子质谱分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.5扫描电子显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.6傅里叶变换红外光谱分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

表面分析技术在材料科学中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1金属材料的表面成分与微区分布分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.2合金相组成与元素化学态分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.3半导体材料的表面缺陷与界面特征分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2