激光干涉测量技术(合肥工业大学).pptVIP

激光测量技术;第二章激光干涉测量技术

§2.1激光干涉测量长度和位移;Δφ=φ1-φ2;2π;结论

合成干涉光的光强是两路光的光程差的余弦函数

I∝A2+B2+2ABcosΔ;应用;n均固定/已知,一路光的光程固定,由下公式可知,即测

量位移和长度

NN

Δ=∑nili?∑njlj

i=1j=1

通过测量光强的变化的次数,测量某臂的光程变化:

所以激光干涉测量一般是:;以Michelson干涉仪为例:;二、测量系统组成;1.干涉仪常用分束方法;（3）分偏振法（PBS）;4.典型的光路布置

布置原则:

1)共路原则消除振动、温度、气流等影响

2)考虑测量精度、条纹对比度、稳定性及实用性

等因素

3）避免光返回激光器

（1）使用角锥棱镜;两半反半透镜一体化光路;（2）整体布局;（4）零光程差的结构布局;常用移相器种类

（1）机械法移相;（2）阶梯板和翼形板移相;（3）金属膜移相

原理：

利用金属膜表面反射和透射时都产生附加位相差

的原理，在分光器的分光面上镀上金属膜做成金

属膜分幅移相器

优点是两光束受

振动和大气扰动

的影响相同，元

件少，结构紧凑