《GBT+46191-2025电子级五（二甲氨基）钽》学习与解读.pptxVIP

《GB/T46191-2025电子级五（二甲氨基）钽》学习与解读

目录

02

技术要求解读

01

标准概述

03

测试方法与程序

04

应用场景与实践

05

合规性要求

06

学习总结

标准概述

01

背景与制定目的

半导体产业需求驱动

随着中国半导体产业向先进制程发展，对高纯度前驱体材料的需求急剧增加，特别是原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）工艺中使用的钽基薄膜材料。该标准的制定填补了国内电子级五(二甲氨基)钽（PDMAT）技术规范的空白。

产业链安全保障

国际技术对标

通过统一技术指标和检测方法，减少进口依赖，保障集成电路关键材料供应链安全，提升国产化率。

参考国际先进标准（如