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半导体微纳制造技术的尺度极限与突破方向

目录

半导体微纳制造技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1微纳制造技术的基本概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2微纳制造技术的发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3微纳制造技术的主要特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

1.4微纳制造技术的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

半导体微纳制造技术的尺度极限．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.1半导体微纳制造技术的技术瓶颈．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.2半导体微纳制造技术的实际应用极限．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.3半导体微纳制造技术的未来预测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

半导体微纳制造技术的突破方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.1新材料的应用与创新．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.2新工艺的研发与推广．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18