单晶硅--培训课件.pptx

数据来源:iimedia;直拉单晶硅(CZ)或区融单晶硅(FZ)?型号:P型或N型?晶向:100或111?纯度:6N--9N?公差:±0.01---±0.1?倒角:C0.3-0.5×45°?平行度:0.02mm;名称:激光反射镜?材质:直拉单晶硅?型号:P型或N型?纯度:5N--6N?晶向:100或111?公差:±0.01---±0.1mm?倒角:C0.3-0.5×45°?平行度:0.02mm;名称:单晶硅棒?生长方式:CZorFZ?型号:P型或N型?晶向:100或111?直径:2英寸---8英寸?位错密度(个C㎡)无?电阻率:0.001-1000

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