CN120060782A 一种低温激活的吸气薄膜及其生产方法 （南京华东电子真空材料有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120060782A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510281620.5

(22)申请日2025.03.11

(71)申请人南京华东电子真空材料有限公司

地址210034江苏省南京市栖霞经济开发

区九龙山路1号

(72)发明人夏纲薛函迎柴云川

(74)专利代理机构南京君陶专利商标代理有限

公司32215

专利代理师李国政

(51)Int.Cl.

C23C14/16(2006.01)

C23C14/18(2006.01)

C23C14/35(2006.01)

C23C14/58(2006.01)