CN120250146A 外延装置及外延层的形成方法 （上海新傲科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120250146A

(43)申请公布日2025.07.04

(21)申请号202510301618.XC30B29/40(2006.01)

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人上海新傲科技股份有限公司

地址201821上海市嘉定区新徕路200号

(72)发明人吴庆东胡平汪金梅张昱

李炜黄俊诸良

(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务

所(普通合伙)31294

专利代理师孙佳胤

(51)Int.Cl.

C30B25/02(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L