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CN119557550A 基于频域分析的大口径光栅扫描刻蚀周期误差抑制方法 （中国人民解放军国防科技大学）.docxVIP

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  • 2026-05-15 发布于山西
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CN119557550A 基于频域分析的大口径光栅扫描刻蚀周期误差抑制方法 （中国人民解放军国防科技大学）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119557550A

    (43)申请公布日2025.03.04

    (21)申请号202510116951.3

    (22)申请日2025.01.24

    (71)申请人中国人民解放军国防科技大学

    地址410073湖南省长沙市开福区德雅路

    109号

    (72)发明人石峰周港彭星田野巩保启郭双鹏

    (74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008

    专利代理师谭武艺

    (51)Int.Cl.

    G06F17/15(2006.01)

    G06Q10/0639(2023.01)

    G0

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