CN119559174A 一种计算铜电镀中洗边间距的方法 （合肥晶合集成电路股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119559174A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202510121359.2

(22)申请日2025.01.26

(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司

地址230012安徽省合肥市新站区合肥综

合保税区内西淝河路88号

(72)发明人於庆红徐东东胡周张潇

(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237

专利代理师曹廷廷

(51)Int.Cl.

G06T7/00(2017.01)

G06T5/30(2006.01)

G06T7/60(2017.01)

G06T7/73(2017.01)

G01B11/02(2006.01)

G01B11/14(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图4页

(54)发明名称

一种计算铜电镀中洗边间距的方法

(57)摘要

CN119559174A本发明提供一种计算铜电镀中洗边间距的方法，包括以下步骤：提供一经过铜洗边处理的晶圆，并获得所述晶圆在晶边处至少一个采集位的图片；根据灰度亮度对每个所述图片进行预处理，以锁定每个所述采集位处的铜边位置所在的第一目标区域，以及每个所述采集位处的晶边位置所在的第二目标