CN119563141A 提供光学系统的传感器数据的装置与方法、光学系统和包含光学系统的光刻装置 （卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119563141A

(43)申请公布日2025.03.04

(21)申请号202380052898.4

(22)申请日2023.07.11

(30)优先权数据

102022207027.52022.07.11DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.09

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0692212023.07.11

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/013190EN2024.01.18

(71)申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司地址德国上科亨

(72)发明人S·瓦斯S·科罗尼

T·雷滕迈尔L·伯格

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

11105专利代理师王蕊瑞

(51)Int.Cl.

G03F7/00(2006.01)

权利要求书4页说明书20页附图6页

(54)发明名称

提供光学系统的传感器数据的装置与方法、

光学系统和包含光学系统的光刻装置

(57)摘要

CN119563141A一种提供来自光刻装置（1）的光学系统（4、10）的N个传感器（301_30N）（其中N≥1）的传感器数据的装置（100），包含模拟数字转换器（500），其配置成将经由N个频道（K1_KN）提供并包括来