显影机安装操作规程.docx

显影机安装操作规程

一、总则

1.1编制目的

为规范显影机的安装作业流程,确保设备安装质量符合设计要求,保障设备运行的稳定性、安全性与可靠性,降低设备故障风险,延长设备使用寿命,特制定本操作规程。

1.2编制依据

本规程依据以下标准及文件制定:

《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB50231-2009

《电子工业设备安装工程施工及验收规范》GB50467-2008

《低压电气装置安装工程施工及验收规范》GB50254-2014

显影机原厂安装维护手册

公司设备安装管理相关规定

1.3适用范围

本规程适用于各类光刻显影机、PCB线路板显影机、薄膜显影机的新购置设备安装、厂区内搬迁安装

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