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- 2026-05-16 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119575755A
(43)申请公布日2025.03.07
(21)申请号202510140262.6
(22)申请日2025.02.08
(71)申请人苏州新维度微纳科技有限公司
地址215000江苏省苏州市工业园区金鸡
湖大道99号苏州纳米城20幢430室
(72)发明人卢英卓曹清华刘超
(74)专利代理机构苏州三英知识产权代理有限
公司32412
专利代理师潘时伟
(51)Int.Cl.
G03F7/00(2006.01)
权利要求书1页说明书5页附图8页
(54)发
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