CN119828569A 一种efem设备的控制方法、装置、存储介质及电子设备 （苏州冠韵威电子技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119828569A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510304359.6

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人苏州冠韵威电子技术有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区宏业

路158号联发工业园8号厂房

(72)发明人朱飞杜杰李亚伦

(74)专利代理机构南京利丰知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)32256

专利代理师李志

(51)Int.Cl.

G05B19/042(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图3页

(54)发明名称

一种EFEM