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2015年5月铜基材料实验进展报告.pptxVIP

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  • 2026-05-20 发布于北京
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2015年5月铜基材料实验进展报告.pptx

    byGumdam21stMay,2015实验进展汇报（二）

    Cu2SXRD

    Cu2STransmittance

    SolarcellsCu2S

    Cu2ODAorRFNumberTargetPowerPressureSCCMTime1Cu2ODC50W0.5Ar：503min2Cu2ODC100W0.5Ar：502min3Cu2ODC50W0.5Ar：5015min3Cu2ORF50W0.5Ar：503min4Cu2ORF50W0.5Ar：502min

    Tab1SputteringparameterSputteringparameterParametervalueTargetCu2ODepositionpressure0.5PaArflowrate30sccmSputteringpowerabout50WDepositiontime40s、60s、100s、120sSubstratetemperatureRoomtemperature（RT）Cu2OtargetCu2OSputtering

    Cu2OSputteringNumberTime1、2、340s4、560s6、7100s8、9120s1468

    thethicknessofCu2Ois

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