分步重复光刻机项目风险分析和评估报告
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分步重复光刻机项目风险分析和评估报告
目录
TOC\o1-9前言 4
一、危险、有害因素的辨识与分析 4
(一)、辨识与分析危险、有害因素的依据 4
(二)、主要危险、有害物质分析 5
(三)、生产过程中危险有害因素的辨识与分析 6
(四)、自然条件危险、有害因素辨识与分析 8
(五)、安全管理不当导致的危险、有害因素辨识与分析 10
(六)、重大危险源辨识结果 11
二、安全评价程序与评价方法 12
(一)、安全评价程序 12
(二)、划分评价单元 13
(三)、确定采用的安全评价方法 1
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