CN119588735A 晶托分离方法 （高测(盐城)技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119588735A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202311125331.3

(22)申请日2023.08.31

(71)申请人高测（盐城）技术有限公司

地址224700江苏省盐城市建湖县高新区

航空路49号

(72)发明人吴广忠滕宁韩金成万道德陈大浩黄金龙

(74)专利代理机构北京维飞联创知识产权代理

有限公司11857

专利代理师刘杰

(51)Int.Cl.

B09B5/00(2006.01)

F25D31/00(2006.01)

B09B3/40(2022.01)

B08B3/12(2006.01)

B08B3/02(2006.01)

B08B1/12(2024.01)

B08B1/16(2024.01)

B08B1/30(2024.01)

B08B1/32(2024.01)

权利要求书2页说明书8页附图3页

(54)发明名称

晶托分离方法

(57)摘要

CN119588735A本申请实施例提供一种晶托分离方法。晶托包括金属材质的晶托板和温度变化后可发生形变的垫板，垫板粘接于晶托板上，晶托分离方法用于分离晶托板与垫板，晶托分离方法包括：转运并翻转晶托，以使垫板位于晶托板的上方；电磁