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微型机械精密加工与设计技术研究

目录

文档概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

微型机械系统的基本原理与构成．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.1微系统定义与分类方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.2微型机械功能模块设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.3关键材料特性与选择依据．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.4常用制作工艺概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

微型机械几何构型设计与仿真分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.1精密结构建模与优化方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.2功能性微结构创新设计技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

3.3有限元分析方法在应力变形中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.4动态特性仿真与模态分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

微型机械高精度加工关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．