CN120231123A 一种磷化铟多晶合成的装料舟、装置及方法 (广东先导微电子科技有限公司).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.25万字
  • 约 11页
  • 2026-05-20 发布于重庆
  • 举报

CN120231123A 一种磷化铟多晶合成的装料舟、装置及方法 (广东先导微电子科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120231123A

(43)申请公布日2025.07.01

(21)申请号202510325374.9

(22)申请日2025.03.19

(71)申请人广东先导微电子科技有限公司

地址511517广东省清远市高新区创兴三

路16号A车间

(72)发明人周传笑陈伟杰周铁军张汪阳

李旺森

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师姚舜禹

(51)Int.Cl.

C30B28/12(2006.01)

C30B29/40(2006.01)

权利要求书1页

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档