CN119589566A 一种研磨垫修整装置及化学机械研磨方法 （芯恩（青岛）集成电路有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119589566A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202311158036.8

(22)申请日2023.09.08

(71)申请人芯恩（青岛）集成电路有限公司

地址266000山东省青岛市黄岛区太白山

路19号德国企业南区401

(72)发明人田小勇

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219

专利代理师刘星

(51)Int.Cl.

B24B53/017(2012.01)

B24B37/04(2012.01)

权利要求书2页说明书8页附图3页

(54)发明名称

一种研磨垫修整装置及化学机械研磨方法

(57)摘要

CN119589566A本发明提供一种研磨垫修整装置及化学机械研磨方法，该装置包括机械手臂、第一连接部、换向驱动结构、第二连接部、第一修整器与第二修整器，其中，第一连接部连接机械手臂，换向驱动结构连接第一连接部，第二连接部具有相互垂直的第一安装面与第二安装面，第二连接部连接换向驱动结构以在换向驱动结构的带动下旋转使第一安装面与第二安装面的位置互换，第一修整器通过第一支撑件安装于第一安装面且修整器盘面平行于第一安装面，第二修整器通过第二支撑件安装于第二安装面且修整器盘面平行于第二安装面。本发明的研磨垫修整装置可以实现