CN119593042A 晶圆搬运机械手和其使用方法以及电镀设备 （江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119593042A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510069531.4

(22)申请日2025.01.16

(71)申请人江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司

地址214000江苏省无锡市锡山区锡北镇

锡北东青河路3号4#楼

(72)发明人梁德富田玉峰林佳继

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332

专利代理师刘臣刚

(51)Int.Cl.

C25D17/00(2006.01)

B25J15/06(2006.01)

C25D17/06(2006.01)

C25D7/12(2006.01)

权利要求书3页说明书12页附图4页

(54)发明名称

晶圆搬运机械手和其使用方法以及电镀设

备

(57)摘要

CN119593042A本发明涉及半导体技术领域，公开了一种晶圆搬运机械手和其使用方法以及电镀设备。电镀设备包括晶圆搬运机械手和夹具，晶圆搬运机械手包括支架组件、至少两个吸附臂和驱动组件，至少两个吸附臂沿支架组件的周向间隔排布，吸附臂上设置有用于吸附晶圆的真空吸附口，吸附臂与支架组件滑动配合；驱动组件安装在支架组件上且分别与各个吸附臂传动配合，驱动组件能够驱动各个吸附臂分别沿径向相对于支架组件向外伸出或者相对于