微电子科学与工程半导体工艺设备手册 (标准版).docxVIP

微电子科学与工程半导体工艺设备手册(标准版)

1.第1章设备概述

1.1设备基本概念

1.2设备分类与功能

1.3设备选型原则

1.4设备维护与保养

1.5设备安全规范

2.第2章制造设备基础

2.1工艺流程与设备匹配

2.2设备操作规范

2.3设备校准与精度控制

2.4设备接口与通信

2.5设备运行参数设置

3.第3章光学设备章节

3.1光学系统原理

3.2光学设备选型与配置

3.3光学设备维护与校准

3.4光学设备故障处理

3.5光学设备安全操作

4.第4章机械加工设备章节

4.1机械结构与运动原理

4.2机械部件选型与设计

4.3机械加工精度控制

4.4机械设备维护与保养

4.5机械设备安全规范

5.第5章电学设备章节

5.1电学系统原理

5.2电学设备选型与配置

5.3电学设备维护与校准

5.4电学设备故障处理

5.5电学设备安全操作

6.第6章热工设备章节

6.1热工系统原理

6.2热工设备选型与配置