CN119596456A 一种基于mmi结构的多通道光功率分配器及其制备方法 （吉林大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119596456A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510043652.1

(22)申请日2025.01.10

(71)申请人吉林大学

地址130012吉林省长春市长春高新技术

产业开发区前进大街2699号

(72)发明人王希斌宁夏柴榕杉李尚融孙士杰张大明

(74)专利代理机构长春吉大专利代理有限责任

公司22201

专利代理师王立文

(51)Int.Cl.

G02B6/125(2006.01)

G02B6/122(2006.01)

G02B6/28(2006.01)

G02B6/13(2006.01)

G02B6/12(2006.01)

权利要求书4页说明书10页附图5页

(54)发明名称

一种基于MMI结构的多通道光功率分配器及

其制备方法

(57)摘要

CN119596456A一种基于MMI结构的多通道光功率分配器及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。从下至上依次由硅片衬底、聚合物下包层、条形结构的聚合物光波导芯层和聚合物上包层组成，条形结构的聚合物光波导芯层基于MMI结构且被包覆在聚合物上包层之中。本发明的波导型功率分配器结合了MMI光波导结构工艺容差大、尺寸小的特点，还利用了有机聚