CN120152370A 一种半导体器件的制备方法 （上海积塔半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120152370A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510330745.2

(22)申请日2025.03.19

(71)申请人上海积塔半导体有限公司

地址201306上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区云水路600号

(72)发明人刘俊黄永彬胡林辉叶蕾

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通

合伙)31219

专利代理师余明伟

(51)Int.Cl.

H10D84/01(2025.01)

H10D84/03(2025.01)

H10B10/00(2023.01)