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半导体工艺基础知识.pdfVIP

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  • 2026-05-22 发布于河北
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半导体工艺基础知识.pdf

    半导体工艺基础知识

    目录

    1.晶体管的原理与分类2

    1.1PN结与二极管3

    1.2场效应管FE?）4

    1.3晶体管的分类6

    2.硅材料的加工8

    2.1硅单晶生长10

    2.2日日^1]帘1]10

    2.3硅掺杂12

    3.薄膜制备技术13

    3.1物理气相沉积15

    3.2化学气相沉积16

    3.3原子层沉积17

    3.4溅射镀膜19

    3.5蒸发镀膜20

    4.21

    4.1光刻原理23

    4.2光刻掩模24

    4.3曝光与显影25

    4.4光刻材料27

    5.绝缘体形成与掺杂27

    5.1介质绝缘材料29

    5.2氧化膜形成技术30

    6.金属lization

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