原创力文档应力仪示值误差校准结果的不确定度评定示例
B1测量方法
晶圆应力测量仪示值误差是通过应力标准片进行校准的。选择合适直径并具
有确定应力参考值的应力标准片安装在应力仪的工作台上，应力仪测量程序分别
对镀膜前后的标准片进行扫描测量获得表面三维轮廓数据，计算标准片不同方位
轮廓线的实测应力值与标准片参考值的差值，得到应力测量的示值误差。
下面以直径300mm，硅基厚度775μm，膜厚500nm的应力标准片校准应力
仪的示值误差校准为例，进行其测量不确定度评定。
B2测量模型
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