原创力文档摘要
在半导体的生产过程中，晶圆的缺陷检测是确保产品质量和可靠性的关键环节。
显微视觉在线检测技术是晶圆缺陷检测系统的核心技术，然而随着晶圆技术节点的缩
小和制造面积的增大，晶圆缺陷自动光学检测系统对显微物镜的性能提出了更高的要
求，现有的商业化显微物镜在光谱范围、视场覆盖和分辨率上存在局限性，难以同时
满足晶圆缺陷的高精度、快速检测需求。为此，本文针对该需求通过两条技术路线展
开了宽光谱大视场平场复消色差显微物镜的设计和研究。
基于折射式结构设计了一款工作波段覆盖可见光和近红外的宽光谱
摘要
在半导体的生产过程中，晶圆的缺陷检测是确保产品质量和可靠性的关键环节。
显微视觉在线检测技术是晶圆缺陷检测系统的核心技术，然而随着晶圆技术节点的缩
小和制造面积的增大，晶圆缺陷自动光学检测系统对显微物镜的性能提出了更高的要
求，现有的商业化显微物镜在光谱范围、视场覆盖和分辨率上存在局限性，难以同时
满足晶圆缺陷的高精度、快速检测需求。为此，本文针对该需求通过两条技术路线展
开了宽光谱大视场平场复消色差显微物镜的设计和研究。
基于折射式结构设计了一款工作波段覆盖可见光和近红外的宽光谱
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