CN120138578A 一种磁控溅射的制备半导体表面保护层的装置 (延边大学).pdfVIP

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  • 2026-05-23 发布于重庆
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CN120138578A 一种磁控溅射的制备半导体表面保护层的装置 (延边大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120138578A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510348137.4

(22)申请日2025.03.24

(71)申请人延边大学

地址133000

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