CN119601439A 碳纳米管阵列表面图案化装置和方法 （常州华束科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601439A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510067407.4

(22)申请日2025.01.16

(71)申请人常州华束科技有限公司

地址213000江苏省常州市新北区华山中

路9号综合楼215室

(72)发明人李建北陈弹蛋李燕凌玮炜卓小敏胡克林高猛

(51)Int.Cl.

H01J9/02(2006.01)

C01B32/168(2017.01)

B82Y40/00(2011.01)

权利要求书2页说明书7页附图4页

(54)发明名称

碳纳米管阵列表面图案化装置和方法

(57)摘要

CN119601439A本发明公开了一种碳纳米管阵列表面图案化装置和方法，碳纳米管阵列表面图案化装置包括：机架；载物台，设在机架上，载物台的一侧用于承载基底；刻蚀电极，设在机架上且朝向载物台的一侧设置，刻蚀电极用于接触或靠近基底上的部分碳纳米管阵列并烧蚀对应的部分碳纳米管阵列，以构造出多个碳纳米管阵列边缘；调节装置，至少与载物台或刻蚀电极其中之一相连，以调节刻蚀电极与载物台的相对位置；控制系统。根据本发明实施例的碳纳米管阵列表面图案化装置，通过刻蚀电极图案化碳纳米管阵列，能够适用于不同材料的碳纳米管阵列表面图案化，能