CN119601511A 一种硅片边缘高效剥离设备及方法 （浙江中晶新材料研究有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601511A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510144680.2

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人浙江中晶新材料研究有限公司

地址313100浙江省湖州市长兴县太湖街

道陆汇路69号

(72)发明人孙新利马俊尹春施伟杰

(74)专利代理机构杭州西木子知识产权代理事务所(特殊普通合伙)33325

专利代理师韩燕燕

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/311(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图8页

(54)发明名称

一种硅片边缘高效剥离设备及方法

(57)摘要

CN119601511A本发明涉及一种硅片边缘高效剥离设备，包括沿硅片传输方向依次设置有上料工位、剥离工位、清洗工位以及收集工位；所述剥离工位上设置有用于转移硅片并对硅片边缘进行强酸腐蚀去除二氧化硅氧化膜工作的处理机构以及所述收集工位上设置有用于收纳硅片的存储机构；本发明通过设置处理机构，从而解决了在剥离宽度要求不同硅片时，无法有效控制氢氟酸位置，进

CN119601511A

CN119601511A权利要求书