摘要
半导体激光器作为核心光电元件,在泵浦光源和空间光通信等关键技术领域发挥
着不可替代的作用。随着应用场景的不断拓展以及传统应用领域对激光光源性能需求
的提升,对器件的输出功率和光束质量有着更高的要求。传统法布里-珀罗型激光器采
用窄脊波导设计,虽能实现基横模输出,但功率提升受限。宽脊波导结构扩大了电流
注入区域,提升了输出功率,却导致光束质量下降,主要表现为模式竞争加剧,远场
光束特性变差。通过在宽脊波导的两侧增加耦合波导,传统三脊波导超对称半导体激
光器可以在阈值附近实现高光束质量输出,但
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