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显示系统超硬减反射膜的研究.pdf

显示系统超硬减反射膜的研究.pdf

    摘要

    随着显示成像系统的更新迭代，显示窗口作为呈现信息的终端器件，对其性能要

    求愈来愈高，不仅要求其具备高成像质量，还要求其具有长寿命，因此对显示成像系

    统中的核心元件减反射膜提出更高的光谱与性能要求。本文采用等离子体辅助中频磁

    控溅射沉积技术，研制一种新型SiTiON低折射超硬复合薄膜，并与高折射率SiN薄

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