CN119598949A 一种光掩模图形数据自动化生成系统及其使用方法 （宁波冠石半导体有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119598949A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510143434.5

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人宁波冠石半导体有限公司

地址315000浙江省宁波市前湾新区滨海

四路316号1号楼A121

(72)发明人虞有群陈新晋姜维智

(74)专利代理机构南京九致知识产权代理事务所(普通合伙)32307

专利代理师顾可嘉

(51)Int.Cl.

G06F30/392(2020.01)

权利要求书2页说明书11页附图5页

(54)发明名称

一种光掩模图形数据自动化生成系统及其

使用方法

(57)摘要

CN119598949A本发明涉及电数字数据处理技术领域，用于提供一种光掩模图形数据自动化生成系统及其使用方法，包括制作元数据结构化壳，并基于制作的元数据结构化壳建立相应的元数据库；所述元数据结构化壳由壳层、核层以及环境适配层组成，其中壳层中保存有客户资料和掩模版制模资料部署系统目录，而核层中设有具体的源文件和掩模版制模资料部署系统，环境适配层中带有和相应操作系统互联的接口，确保元数据结构化壳能被相应操作系统识别。由于采用了所述技术方案，本发明生成了元数据结构化壳，设计易于统一读取和减少误差，它不受不同数据库和数据库