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集成电路先进封装废气治理工程方案.docx

集成电路先进封装废气治理工程方案.docx

    集成电路先进封装废气治理工程方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、废气特征分析 4

    三、治理目标 6

    四、设计原则 8

    五、工艺源项识别 10

    六、污染物种类与浓度 14

    七、排放标准分析 17

    八、总体治理思路 20

    九、废气收集系统 23

    十、预处理单元 26

    十一、酸性废气治理 30

    十二、碱性废气治理 32

    十三、有机废气治理 34

    十四、含尘废气治理 39

    十五、异味控制方案 41

    十六、风量与阻力计算 44

    十七、管道与风机配置 49

    十八、自动控制系统 53

    十九、运行

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