CN119601487A 晶圆边缘检测系统及检测方法 （上海御微半导体技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601487A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411741966.0

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人上海御微半导体技术有限公司

地址201208上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区祖冲之路899号10幢1-4层01室

(72)发明人徐欣尹光才田依杉汪江涛江周周郑教增张鹏黎孙刚

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332

专利代理师蔡舒野

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

G01N21/01(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图7页

(54)发明名称

晶圆边缘检测系统及检测方法

(57)摘要

CN119601487A本发明公开一种晶圆边缘检测系统及检测方法，该检测系统包括：底板；光轴朝向不同方向的两个光机，驱动组件，与底板驱动连接，用于驱动底板沿待测晶圆的径向方向移动，以调节两个光机的焦平面，任一光机根据两个光机的焦平面的差值进行调焦，直至两个光机的齐焦距保持一致。本发明利用两个光机进行晶圆边缘检测，在不降低检测分辨率的同时，减少检测光机