CN119604063A 一种降低太阳能电池中激光损伤的方法和应用 （捷泰新能源科技(苏州)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119604063A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411665161.2

(22)申请日2024.11.20

(71)申请人捷泰新能源科技（苏州）有限公司

地址215000江苏省苏州市苏州工业园区

东富路35号1号楼3层3206室

(72)发明人张凯宋怡潇武会会邢肖肖

(74)专利代理机构深圳国海智峰知识产权代理事务所(普通合伙)44489

专利代理师臧芳芳

(51)Int.Cl.

H10F71/00(2025.01)

H01L21/225(2006.01)

H01L21/268(2006.01)

H01L21/311(2006.01)

权利要求书1页说明书7页附图1页

(54)发明名称

一种降低太阳能电池中激光损伤的方法和

应用

(57)摘要

CN119604063A本申请涉及一种降低太阳能电池中激光损伤的方法，其包括以下步骤：衬底沉积、去除氧化层、PN掺杂源制备、激光掺杂、清洗、退火处理、制绒、钝化和金属化等步骤，通过物理或化学方式去除多晶硅层表面产生的氧化层，采用低能量密度的激光即可实现掺杂源在多晶硅层内的均匀扩散，不易对硅片造成激光损伤，且适用于大面积的掺杂，从而能够达到降低激光损伤、提高掺

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