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实验七四探针测试半导体薄膜的电阻率

SB118型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装

置，可以测量棒状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率，片状半导体材料的电

阻率和扩散层方块电阻，换上特制四端子测试夹还可以对低、中值电阻进行测量。

仪器由集成电路和晶体管电路混合组成，具有测量精度高、灵敏度高、稳定

性好，测量范围广，结构紧凑，使用方便的特点，测量结果由数字直接显示。仪

器探头采用宝石导向轴套，与高耐磨合金探针组成具有定位准确，游移率小，寿

命长的特点。本仪器适合于对半导体、金属、绝缘体材料的电阻性能测试。

一、实验目的

（1）了解四探针电阻率测试仪的基本原理；

（2）了解的四探针电阻率测试仪组成、原理和使用方法；

（3）能对给定的物质进行实验，并对实验结果进行分析、处理。

式中，当===1mm时，C=2π。若电流取I=C时，则ρ=V可由数字电压

表直接读出。

（1）块状和棒状样品体电阻率测量

由于块状和棒状样品外形尺寸也探针间距比较，合乎与半无限大的边界条

件，电阻率值可以直接由（3-4），（3-5）式求出。

（2）薄片电阻率测量

薄片样品因为其厚度与探针间距比较，不能忽略，测量时要提供样品的厚度

形状和测量位的修正系数。