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高精度制造设备在线检测技术体系构建

目录

一、内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、高精度制造设备在线监测基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.1预警机理分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.2检测信号处理方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.3数据驱动决策模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

三、关键在线检测技术设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1振动状态监测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2温度场感知技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.3磨损状态监测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.4润滑油工况监控技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.5压力与流量监测技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

四、在线检