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超大规模集成电路超净厂房的施工管理方案

随着我国超大规模集成电路产业的发展，行业对空气净

化不熟的不断提高，洁净厂房的建设越来越多，净化级别

不断提高，净化面积越来越大，而建设方对施工周期求越

来越短，合理的施工组织计是建设一个快速、合格的洁净厂

房的保证。本文以某大型洁净生产厂房为例介绍洁净厂房安

装工程过程中所采取的洁净保证措施。

1.大型超净厂房的结构特点该洁净厂房采用目前国际上流行

的新风机+FFU（风机过滤单元）+FCU（风机盘管）的形式，

保证净化的循环风由FFU实现，房间内的温湿度由新风机组

和FCU来保证，在空间立面上分成以下几个区域。

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(1).下技术夹层：高度为5.3米，其主用途为设置气体、

给排水等动烽设备，敷设管道电气线路，放置新风机组和FCU

等。地面涂层为环氧自流坪，四周用金属壁板封闭。

(2).生产层：高度为5.4米，为工艺工用室、设备安装区，

它是整个厂房的核心空气处于垂直层流