CN120065515A 一种面向晶圆对准标记的变步长曲线拟合聚焦搜索方法 (南京航空航天大学).pdfVIP

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  • 2026-05-27 发布于重庆
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CN120065515A 一种面向晶圆对准标记的变步长曲线拟合聚焦搜索方法 (南京航空航天大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120065515A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510315029.7

(22)申请日2025.03.18

(71)申请人南京航空航天大学

地址210016江苏省南京市秦淮区御道街

29号

申请人南京航空航天大学苏州研究院

(72)发明人张航瑛杨金孟凯楼佩煌

钱晓明武星

(74)专利代理机构北京新科华领知识产权代理

事务所(普通合伙)16115

专利代理师薛妍

(51)Int.Cl.

G02B27/00(2006.01)

G02B7/36(2021.01)

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